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贝博网站:光伏太阳能净化车间新能源硅晶片无尘车间装修工程

浏览次数: 41 发布日期: 2022-05-04 12:27:26 来源:贝博网址 作者:贝博下载

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  光伏新能源硅晶片是由硅原料加工而成的一片片像镜子相通光亮的圆片,是坐蓐半导体集成电途芯片的原原料。目前微电子家当飞速进展,集成电途时间已迈入0.18微米以下的时间,极大地刺激了光伏新能源硅晶片的进展,同时对光伏新能源硅晶片的机能参数的恳求也有较大的降低,因而光伏新能源硅晶片的进展远景至极笑观。

  从大的方面来讲,光伏新能源硅晶片坐蓐包含硅单晶棒坐蓐和光伏新能源硅晶片坐蓐两大局限,细分为以下几道重要工序:

  单晶棒发展-单晶棒裁切和检测-表径磨削-切片-倒角(圆边)-研磨/研磨片检验-蚀刻(化学蚀刻、LP-CVD+AP-CVD 等工艺)-PTA热措置-后面毁伤措置-扔光(ML粗扔、ML精扔)-洗净-品德检验-清洁包装

  从单晶棒发展到表径磨削为硅单晶棒坐蓐工序,切片从此的流程为光伏新能源硅晶片坐蓐工序。下面以某日资硅片厂为例,先容光伏新能源硅晶片坐蓐工序的空调净化体系和自控体系的计划计划。

  某硅片厂坐蓐4~6英寸光伏新能源硅晶片,产量为480万片/年。此公司光伏新能源硅晶片运用于分立器件、功率元件和特种集成电途的创造。

  空调净化的计划是与工艺的结构、坐蓐的流程亲切纠合的。分别类型、分别用处的厂房空调净化体系都各有特质,下面来先容光伏新能源硅晶片坐蓐工序的空调净化体系计划。

  1 切片室、倒角室、研磨片室仅有温度限定恳求,设风冷热泵分体柜式空调机(PAC)来包管房间温度恳求,室内机就近安排正在车间内,接风管,采用双层百叶风口侧送风形式;室表机安排正在屋面上。切片室的排风量较大,新风范用直接蒸发式热泵型屋顶空调机S1-1和S1-2来填充。车间有防尘恳求,风冷热泵分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数结果:≥60%,对待≥1μm 粒子),同样屋顶式空调机需设两级过滤器。

  2 炉室、BSD室仅有温度限定恳求,设风冷电热分体柜式空调机(PAL)来包管房间温度恳求,室内机就近安排正在车间内,接风管,采用方形散流器顶送风形式;室表机安排正在屋面上。新风由相邻清洁室正压过来。车间有防尘恳求,风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数结果:≥60%,室内空气检测方法对待≥1μm粒子)。

  3 磨片检验室有温度和湿度限定恳求,设风冷电热分体柜式空调机(PAL)来包管房间温度恳求,室内机就近安排正在车间内,接风管,采用方形散流器顶送风形式;室表机安排正在屋面上。新风经新风机组(MAU-1、2)措置后,接至送风管上送到室内,相对湿度由新风机组来包管。新风机组是与净化体系共用的。车间有防尘恳求,风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数结果:≥60%,对待≥1μm粒子),新风机组内设粗、中效过滤器。

  光伏新能源净化工程体系用的新风空调机组(MAU)和轮回空调机组(AHU)的冷媒采用6-11℃的冷冻水,加热采用0.2MPa蒸汽,加湿采用0.1MPa的清洁蒸汽加湿,清洁蒸汽由纯水经清洁蒸汽爆发器发作。

  1 CP室净化级别为7级,换气次数取为30次/幼时,CP室工艺配置用酸量较多,采用全新风空调机组(MAU-3)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调形式。其气流流程为:新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-清洁蒸汽加湿-送风机-送风管-高效过滤器送风-清洁区。

  2 ML室净化级别为7级,换气次数取为30次/幼时,采用新风机组(MAU)+轮回机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调形式。新风接自其它体系共用MAU-1、2新风组。

  3 CP/CVD室、LP/CVD室、清洁包装间净化级别为6 级,换气次数取为50次/幼时,采用新风机组(MAU)+轮回机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调形式。新风接自其它体系共用的MAU-1、2新风组。

  4 7级、6 级的清洁室采用的气流步地为顶部高效过滤器送风口送风,房间侧下百叶风口回风。其气流流程为:新回风羼杂!中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-高效过滤器送风口-清洁区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风羼杂。

  5 洗净室、品德检验室净化级别为7 级,采用新风机组(MAU)+轮回机组(AHU)+风机过滤器单位(FFU))的空调形式。采用的气流步地为顶部FFU送风,房间侧下百叶风口回风。FFU满布率为33%,洗净室、品德检验室对NH4+、SQx浓度有要。